・超音波定常波の原理を元に開発した、最新モータです。

・超小型モータから、ステージ用の大型モータまで各種取り揃えています。

・一般的なAC/DCサーボモータと同様に制御可能です。　

・推奨コントローラ：　Galil Motion Controller)

・OEM、特殊仕様に対応しております。

（電気設計、機械設計、サーボデザイン、マンマシンインターフェースまで）

 

 

ナノモーション　超音波モータとは

 

ナノモーションのモータには、磁界や回転部がありません。

セラミック製のつま先をセラミック製の帯面に押し付ける事により力を伝え、リニアおよびロータリステージを移動させます。
縦方向の引張ると力と、横方向の曲げる力を同時に発生させると２次元の音波が生じ、その結果セラミック製のつま先に小さな楕円形の動きが生じます。

したがって、無限の直線および回転動作を超精密・超高速に行なうことが可能です。
 

・位置決め分解能：　　5nm より
・速度範囲：　1μｍ/sec ～　250ｍｍ/sec

動作電源が切れても、つま先はステージの帯を押し続けていますので、ホールディングトルクが維持され、位置ズレやヒステリシスを気にせず使用できます。

寿命　約40,000時間
クラス10までのクリーンルームで使用可能。真空用および超高真空用タイプも用意されています。

磁性材料を使用していない上、原理的に磁界を発生しません。
米国ガリル社との共同開発により、次世代ファームウェアの開発に成功。閉ループでの制御性が一段と向上しました。