イスラエル   非磁界・超高真空対応

NANOMOTION

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・超音波定常波の原理を元に開発した、最新モータです。

・超小型モータから、ステージ用の大型モータまで各種取り揃えています。

・一般的なAC/DCサーボモータと同様に制御可能です。 

・推奨コントローラ: Galil Motion Controller)

・OEM、特殊仕様に対応しております。

(電気設計、機械設計、サーボデザイン、マンマシンインターフェースまで)

 

 

ナノモーション 超音波モータとは

 

ナノモーションのモータには、磁界や回転部がありません。

セラミック製のつま先をセラミック製の帯面に押し付ける事により力を伝え、リニアおよびロータリステージを移動
させます。
縦方向の引張ると力と、横方向の曲げる力を同時に発生させると2次元の音波が生じ、その結果セラミック製のつま
先に小さな楕円形の動きが生じます。

したがって、無限の直線および回転動作を超精密・超高速に行なうことが可能です。

 

・位置決め分解能:  5nm より
・速度範囲: 1μm/sec ~ 250mm/sec

動作電源が切れても、つま先はステージの帯を押し続けていますので、ホールディングトルクが維持され、位置ズレやヒステリシスを気にせず使用できます。

寿命 約40,000時間
クラス10までのクリーンルームで使用可能。真空用および超高真空用タイプも用意されています。

磁性材料を使用していない上、原理的に磁界を発生しません。
米国ガリル社との共同開発により、次世代ファームウェアの開発に成功。閉ループでの制御性が一段と向上しました。

 

マイクロアレイ用 ナノリソグラフィー

この卓上装置に組み込まれれいるナノモーションのステージは、5nmの位置決め精度を実現しています。
バイオのDNAアレイ・光学分野でのフォトマスクなど、卓上で高精度が要求される装置に使用されています。

レーザー・イオンビーム

このステージは10-10トルのUHVに適合しています。
XYZの直線軸は、50nmの分解能を持つエンコーダを用い、シータ軸は1arc秒までの位置決めが可能です。また、最速200mm/secの動作が可能です。
ナノモーションの真空モータは、、非磁性モータです。
磁性材料を使っていない上、原理的に磁界を必要としない為、E-ビームやイオンビームの偏向を嫌う装置に最適です。

MRI用 非磁界モータ

このステージナノモーションのN-モータは1.5Tから3TのMRI環境に適したモータです。
非磁性モータはMRI適合アンプにより駆動されます。このアンプは画像取り込み中に外的障害を排除すべく最適なMRI周波数に調整され用いられます。
MRIのロボットやマジックハンドに用いられるN-モータは、MRI撮影中の静止状態でも無電源で高いホールディングトルクを出し位置ズレを起こしません。
ナノモーションは、超音波ピエゾ技術を用い、従来と同じ回転型のモータも製造しています。これ等のモータはモータシャフトを用いた従来の取り付け方法が可能です。

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代表的な使用例

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