NANOMOTION Ultrasonic Motors
Nanomotion社の超音波モータ（ピエゾモータ）は、独自の超音波定在波技術により、
「高精度」「高推力」「非磁性・真空対応」を実現します。
半導体製造装置から小型医療機器まで、幅広い用途に対応する4つのシリーズを展開しています。
EDGE Series
業界最小レベル 工業用超音波モータ
EDGEモータはコンパクトなASICベースのドライバで駆動される、業界最小レベルの工業用超音波モータです。
市販の殆んどのサーボコントローラで制御可能であり、ベアリングを用いたあらゆる機器に取り付け可能です。特に大量生産される小型機器への組み込みに最適です。
市販の殆んどのサーボコントローラで制御可能であり、ベアリングを用いたあらゆる機器に取り付け可能です。特に大量生産される小型機器への組み込みに最適です。
主な特徴
- サイズが驚くほど小さい (重量わずか0.55g)
- 消費電力が小さい
- ASIC駆動/制御
- ダイナミック速度範囲が広い
- 優れた移動・停止性能
- 無電源でもブレーキが利く (保持力 0.3N)
| 最大速度 (無負荷) | 120 mm/sec |
|---|---|
| 保持力 (ブレーキ) | 0.3 N |
| 重量 | 0.55 g |
| ドライバサイズ | 13.5 × 7.6 × 3.15 mm (L×W×H) |
HR Series
高推力・高分解能ステージ用
直線および回転ステージ用のハイエンドモデルです。
エレメント1個（出力0.4kg）から、2・4・8個のエレメントを重ね合わせたモータまで幅広くラインナップしており、最大3.2kg（8エレメント）の高推力を実現します。
一般的な摩擦抵抗の少ないステージや他の機器に簡単に取り付けられ、移動距離に制限はありません。
一般的な摩擦抵抗の少ないステージや他の機器に簡単に取り付けられ、移動距離に制限はありません。
主な特徴
- 1μm/sec から 250mm/secまでの広い可変速範囲
- 優れた動きおよび静止性能
- 10nm単位の微小ステップ分解能
- 非磁界モータ（外部への磁界障害なし）
- 真空仕様対応可能
| 定格出力 (推力) | 0.4 kg ～ 3.2 kg (1～8エレメント構成) |
|---|---|
| 速度範囲 | 1 μm/sec ～ 250 mm/sec |
| 分解能 | 最大 10 nm ステップ |
| 環境対応 | 標準 / 真空 / 非磁性 |
LS Series
低速安定制御・オートフォーカス
低速度領域で安定した速度制御を行うことに特化したシリーズです。
長時間にわたって小さなステップ動作が必要な顕微鏡のオートフォーカスや、精密光学調整などのアプリケーションに最適です。
固有の磁界を持たず、高分解能での制御が可能です。
長時間にわたって小さなステップ動作が必要な顕微鏡のオートフォーカスや、精密光学調整などのアプリケーションに最適です。
固有の磁界を持たず、高分解能での制御が可能です。
主な特徴
- 低速域での優れた安定性
- 微小ステップ動作に最適
- 固有の磁界なし
- 高分解能制御
| 得意領域 | 低速安定制御 / 微小送り |
|---|---|
| 主な用途 | オートフォーカス、光学調整 |
| 磁気特性 | 非磁界 |
ST Series
小型・高分解能・線形送り
小型のため、既存の機器のわずかなスペースに納める事が可能です。
最高速度250mm/secで動作しつつ、数10nmレベルのステップ送りが可能なため、微小ステップ送りや線形送りに最適です。
非磁界モータであり、外部へ磁界障害を与えません。
最高速度250mm/secで動作しつつ、数10nmレベルのステップ送りが可能なため、微小ステップ送りや線形送りに最適です。
非磁界モータであり、外部へ磁界障害を与えません。
主な特徴
- 省スペース・コンパクト設計
- 高分解能の直線および回転制御
- 最高速度 250mm/sec
- 外部磁界障害なし
| 最高速度 | 250 mm/sec |
|---|---|
| ステップ分解能 | 数 10 nm レベル |
| 用途 | 微小ステップ送り、線形送り |
| 磁気特性 | 非磁界 |