Nanomotion Piezo Motor

磁界を持たない、超精密ピエゾモータ＆ステージ

About Technology

ナノモーションのモータには、磁界や回転部がありません。
セラミック製のつま先を帯面に押し付け、超音波定常波の原理（縦方向の引張りと横方向の曲げ）によって楕円運動を生じさせ、リニアおよびロータリ動作を行います。

磁性材料を使用せず、原理的に磁界を発生しないため、E-ビームやイオンビーム、MRIなどの環境に最適です。
電源が切れても高いホールディングトルクを維持し、位置ズレやヒステリシスが発生しません。

位置決め分解能は5nmから。速度範囲は1μm/sec〜250mm/secまで広範囲に対応。

磁石を一切使用しません。電子顕微鏡や半導体製造装置内で磁場の影響を受けずに動作します。

クラス10のクリーンルーム対応に加え、超高真空（10⁻¹⁰ Torr）対応モデルも用意されています。

無通電時でも摩擦力により位置を保持。発熱を抑えながら確実に停止位置を維持します。

代表的な使用例

ナノリソグラフィー

卓上装置において5nmの位置決め精度を実現。
バイオのDNAアレイや、光学分野でのフォトマスクなど、限られたスペースで超高精度が要求される装置に採用されています。

レーザー・イオンビーム (真空)

10⁻¹⁰ TorrのUHV（超高真空）環境に適合。
磁性材料を使わず磁界を発生しないため、E-ビームやイオンビームの偏向を嫌う装置に最適です。XYZ軸に加え、秒角精度の回転軸も構築可能です。

MRI環境用 (非磁性)

1.5T〜3Tの強磁場MRI環境下で動作するロボットやマニピュレータに採用されています。
MRI適合アンプとの組み合わせにより、画像取り込みへのノイズ影響を排除。撮影中も無電源で位置を保持します。

用途に合わせて選べるラインナップ

カスタム・OEM対応について

※特殊仕様・OEM開発について

ナノモーション製品は、お客様の装置に合わせたカスタマイズ（電気設計、機械設計、真空対応など）が可能です。
詳細な要件につきましては、お問い合わせフォームよりご相談ください。